登入帳戶  | 訂單查詢  | 購物車/收銀台( 0 ) | 在線留言板  | 付款方式  | 運費計算  | 聯絡我們  | 幫助中心 |  加入書簽
會員登入 新用戶登記
HOME新書上架暢銷書架好書推介特價區會員書架精選月讀2023年度TOP分類瀏覽雜誌 臺灣用戶
品種:超過100萬種各類書籍/音像和精品,正品正價,放心網購,悭钱省心 服務:香港台灣澳門海外 送貨:速遞郵局服務站

新書上架簡體書 繁體書
暢銷書架簡體書 繁體書
好書推介簡體書 繁體書

三月出版:大陸書 台灣書
二月出版:大陸書 台灣書
一月出版:大陸書 台灣書
12月出版:大陸書 台灣書
11月出版:大陸書 台灣書
十月出版:大陸書 台灣書
九月出版:大陸書 台灣書
八月出版:大陸書 台灣書
七月出版:大陸書 台灣書
六月出版:大陸書 台灣書
五月出版:大陸書 台灣書
四月出版:大陸書 台灣書
三月出版:大陸書 台灣書
二月出版:大陸書 台灣書
一月出版:大陸書 台灣書

『簡體書』高端光刻机像质检测技术(上册)

書城自編碼: 3615029
分類:簡體書→大陸圖書→工業技術機械/儀表工業
作者: 王向朝等
國際書號(ISBN): 9787030673541
出版社: 科学出版社
出版日期: 2021-04-01

頁數/字數: /
書度/開本: 16开 釘裝: 精装

售價:HK$ 310.0

我要買

 

** 我創建的書架 **
未登入.


新書推薦:
郭建龙亚洲三部曲:印度、穿越蒙古国、三千佛塔
《 郭建龙亚洲三部曲:印度、穿越蒙古国、三千佛塔 》

售價:HK$ 279.6
工作:从平凡到非凡(原书第5版)  [英]理查德·泰普勒 陶尚芸 译
《 工作:从平凡到非凡(原书第5版) [英]理查德·泰普勒 陶尚芸 译 》

售價:HK$ 70.8
带献帝去旅行--历史书写的中古风景(论衡系列)
《 带献帝去旅行--历史书写的中古风景(论衡系列) 》

售價:HK$ 69.6
出行创新设计:概念、范式与案例
《 出行创新设计:概念、范式与案例 》

售價:HK$ 119.9
爱的能力:为什么我们既渴望爱,又害怕走进爱(第13版)
《 爱的能力:为什么我们既渴望爱,又害怕走进爱(第13版) 》

售價:HK$ 83.8
环艺设计手绘:景观/室内 马克笔 手绘效果图技法精解
《 环艺设计手绘:景观/室内 马克笔 手绘效果图技法精解 》

售價:HK$ 95.8
明清与李朝时代
《 明清与李朝时代 》

售價:HK$ 81.6
感动,如此创造
《 感动,如此创造 》

售價:HK$ 71.8

 

內容簡介:
光刻机像质检测技术是支撑光刻机整机与分系统满足光刻机分辨率、套刻精度等性能指标要求的关键技术。本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了国际主流的光刻机像质检测技术,详细介绍了本团队提出的系列新技术,涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术,包括初级像质参数、波像差、偏振像差、动态像差、热像差等像质检测技术。本书介绍了这些技术的理论基础、原理、模型、算法、仿真与实验验证等内容。以光刻机原位与在线像质检测技术为主,也介绍了投影物镜的离线像质检测技术,涵盖了深紫外干式、浸液光刻机以及极紫外光刻机像质检测技术。

 

 

書城介紹  | 合作申請 | 索要書目  | 新手入門 | 聯絡方式  | 幫助中心 | 找書說明  | 送貨方式 | 付款方式 香港用户  | 台灣用户 | 大陸用户 | 海外用户
megBook.com.hk
Copyright © 2013 - 2024 (香港)大書城有限公司  All Rights Reserved.