《先进计算光刻》 - 李艳秋等著 - 科学出版社 - 香港大書城 - Meg Book Store

	登入帳戶　 \|　訂單查詢　 \|　購物車/收銀台(0)　\|　在線留言板　 \|　付款方式　 \|　運費計算　 \|　聯絡我們　 \|　幫助中心　\|　加入書簽
		會員登入新用戶登記

HOME

新書上架

暢銷書架

好書推介

會員書架精選

2023年度TOP

臺灣用戶

品種：超過100萬種各類書籍/音像和精品，正品正價，放心網購，悭钱省心

服務：香港／台灣／澳門／海外

送貨：速遞／郵局／服務站

新書上架：簡體書繁體書
暢銷書架：簡體書繁體書
好書推介：簡體書繁體書

十月出版：大陸書台灣書
九月出版：大陸書台灣書
八月出版：大陸書台灣書
七月出版：大陸書台灣書
六月出版：大陸書台灣書
五月出版：大陸書台灣書
四月出版：大陸書台灣書
三月出版：大陸書台灣書
二月出版：大陸書台灣書
一月出版：大陸書台灣書
12月出版：大陸書台灣書
11月出版：大陸書台灣書
十月出版：大陸書台灣書
九月出版：大陸書台灣書
八月出版：大陸書台灣書

『簡體書』先进计算光刻

書城自編碼： 3980848
分類：簡體書→大陸圖書→工業技術→電子/通信
作者：李艳秋等著
國際書號(ISBN)： 9787030781246
出版社：科学出版社
出版日期： 2024-04-01

頁數/字數： /
書度/開本： 16开釘裝：精装

售價：HK$ 149.5

我要買件

** 我創建的書架 **
未登入.

新書推薦：

英国商业500年（见证大国崛起与企业兴衰，启迪未来商业智慧。）

《英国商业500年（见证大国崛起与企业兴衰，启迪未来商业智慧。）》
售價：HK$ 80.6

万千心理·儿童心理治疗中的心智化：临床实践指导

《万千心理·儿童心理治疗中的心智化：临床实践指导》
售價：HK$ 87.4

自我囚禁的人：完美主义的心理成因与自我松绑（破除你对完美主义的迷思，尝试打破自我评价过低与焦虑的恶性循环）

《自我囚禁的人：完美主义的心理成因与自我松绑（破除你对完美主义的迷思，尝试打破自我评价过低与焦虑的恶性循环）》
售價：HK$ 66.1

《周易》
售價：HK$ 44.6

东南亚的传统与发展

《东南亚的传统与发展》
售價：HK$ 67.2

乾隆制造

《乾隆制造》
售價：HK$ 87.4

资治通鉴臣光曰辑存资治通鉴目录（司马光全集）（全二册）

《资治通鉴臣光曰辑存资治通鉴目录（司马光全集）（全二册）》
售價：HK$ 304.4

明代社会变迁时期生活质量研究

《明代社会变迁时期生活质量研究》
售價：HK$ 316.2

建議一齊購買：

+

HK$ 113.9
《半导体产业人才发展指南》

+

HK$ 159.3
《电路板制造工艺问题改善指南》

+

HK$ 153.6
《Cadence高速电路板设计与仿真（第7版）——原理图与PC》

+

HK$ 114.8
《《无线电》合订本（68周年版·上）》

+

HK$ 221.8
《SMT核心工艺解析与案例分析（第4版）》

+

HK$ 70.8
《红外传感器原理与应用》

內容簡介：

先进计算光刻技术是集成电制造装备和工艺的核心技术。本书主要介绍作者在20余年从事光刻机研发中，建立的先进计算光刻技术，包括矢量计算光刻、快速-全芯片计算光刻、高稳定-高保真计算光刻、光源-掩模-工艺多参数协同计算光刻等，能够实现快速-高精度-全曝光视场-低误差敏感度的高性能计算光刻。矢量计算光刻包括零误差、全光路严格的矢量光刻成像模型及OPC和SMO技术。快速-全芯片计算光刻包括压缩感知、贝叶斯压缩感知、全芯片压缩感知计算光刻技术。高稳定-高保真计算光刻包括低误差敏感度的SMO技术、全视场多目标SMO技术、多目标标量和矢量光瞳优化技术。光源-掩模-工艺多参数协同计算光刻包括含偏振像差、工件台振动误差、杂散光误差的光刻设备-掩模-工艺多参数协同优化技术。解决传统计算光刻在零误差假设、局域坐标系、理想远心、单个视场点获得的掩模-光源，无法很好匹配实际光刻系统之所需，......

目錄：

序
前言
第1章绪论1
1.1 光刻机和光刻成像1
1.1.1 光刻机简史1
1.1.2 光刻成像及其性能指标2
1.1.3 影响光刻成像性能的主要因素3
1.2 传统分辨率增强技术7
1.2.1 离轴照明7
1.2.2 相移掩模8
1.2.3 基于规则的光学邻近效应校正9
1.2.4 偏振照明9
1.3 计算光刻技术11
1.3.1 光刻成像模型11
1.3.2 先进计算光刻目标函数14
1.3.3 先进计算光刻算法16
参考文献18
第2章矢量计算光刻技术24
2.1 矢量光刻成像理论基础24
2.1.1 二维矢量成像模型24
2.1.2 三维严格矢量光刻成像模型31
2.1.3 二维-三维的矢量光刻成像分析38
2.2 零误差矢量计算光刻技术47
2.2.1 采用矢量成像模型的OPC技术47
2.2.2 采用矢量成像模型的SMO技术68
参考文献88
第3章快速-全芯片计算光刻技术92
3.1 压缩感知计算光刻技术92
3.1.1 压缩感知光源优化技术92
3.1.2 非线性压缩感知光源-掩模优化技术104
3.2 贝叶斯压缩感知计算光刻技术113
3.2.1 贝叶斯压缩感知光源优化技术113
3.2.2 非线性贝叶斯压缩感知光源-掩模优化技术122
3.3 全芯片压缩感知计算光刻技术129
参考文献133
第4章高稳定-高保真计算光刻技术137
4.1 误差对计算光刻的影响137
4.1.1 波像差与偏振像差的定义与表征137
4.1.2 波像差对计算光刻的影响138
4.1.3 偏振像差对计算光刻的影响141
4.1.4 光源非均匀性与杂散光对计算光刻的影响142
4.2 高稳定-高保真光源-掩模优化技术145
4.2.1 低误差敏感度的光源-掩模优化技术145
4.2.2 全视场多目标光源-掩模优化技术168
4.3 高稳定-高保真光瞳优化技术183
4.3.1 多目标标量光瞳优化技术184
4.3.2 多目标矢量光瞳优化技术200
参考文献212
第5章光源-掩模-工艺多参数协同计算光刻技术215
5.1 多参数协同优化技术基础215
5.1.1 工艺参数对图形保真的影响215
5.1.2 多目标函数构建219
5.1.3 多参数协同优化方法219
5.2 多参数协同优化技术及应用222
5.2.1 零误差光刻系统的多参数协同优化技术及应用222
5.2.2 非零误差光刻系统的多参数协同优化技术及应用227
参考文献231

書城介紹　 |　合作申請　|　索要書目　 |　新手入門　|　聯絡方式　 |　幫助中心　|　找書說明　 |　送貨方式　|　付款方式 香港用户　 |　台灣用户　|　大陸用户　|　海外用户

megBook.com.hk

Copyright © 2013 - 2024 （香港）大書城有限公司　 All Rights Reserved.