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『簡體書』3D集成手册—— 三维工艺技术(第3卷)

書城自編碼: 3987615
分類:簡體書→大陸圖書→工業技術一般工业技术
作者: [美]菲利普·加洛 ,[日]小柳光政, [德]彼得·拉姆
國際書號(ISBN): 9787515921648
出版社: 中国宇航出版社
出版日期: 2024-05-01

頁數/字數: /
書度/開本: 16开 釘裝: 平装

售價:HK$ 147.2

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內容簡介:
3D集成手册的主要编辑是来自高科技公司和著名研究机构的顶级作者,这本书涵盖了3D工艺技术详细的细节。因此,从技术和材料科学的角度来看,本书主要关注的是硅的形成、键合和解键合、减薄、露头和背面处理等工艺。本书的最后一部分是关于评估和增强3D集成设备的可靠性,这是这种新兴技术大规模实施的先决条件。对材料科学家,半导体物理学家,和那些工作在半导体领域,以及IT和电气工程师有非常阅读价值。

 

 

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